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        晶圓測試探針臺

        產品簡介:可用于12英寸以內樣品測試。

        • 更新時間:2019-07-14
        • 瀏覽次數:3092

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        詳細介紹

        晶圓測試探針臺
        型號 SE-4 SE-6 SE-8 SE-12
        外形 580mm長*
        620mm寬*
        730mm高
        640mm長*
        700mm寬*
        730mm高
        660mm長*
        660mm寬*
        700mm高
        1030mm長
        *820mm寬*
        730mm高
        重量 約70KG 約80KG 約85KG 約180KG
        電力需求 220VC,50~60Hz
        樣品臺 尺寸 4英寸,可360度旋轉 6英寸,可360度旋轉 8英寸,可360度旋轉 12英寸,可360度旋轉
        X-Y行程 4英寸*4英寸 6英寸*6英寸 8英寸*8英寸 12英寸*12英寸
        Z軸行程 6mm(快速切換)/6mm(微調)
        移動精度 10um/1um
        樣品固定方式 真空吸附
        背電極測試功能 有,樣品臺電學獨立懸空
        針座平臺 U型平臺,多可放置6個針座 U型平臺,多可放置8個針座 U型平臺,多可放置10個針座 U型平臺,多可放置12個針座
        光學特性  顯微鏡行程 X-Y軸行程2英寸*2英寸,Z軸:50.8mm
        顯微鏡移動精度 1um
        切換鏡頭方式 顯微鏡快速傾仰30度   
        放大倍數 16~100X/20~4000X
        鏡頭規格 目鏡:10X;物鏡:5X,10X,20X,50X,100X(選配)
        CCD像素 50W(模擬)/200W(數字)/500W(數字)
        點針規格 X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
        機械精度 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米
        漏電精度 10pA/100fA     (配置屏蔽箱時)
        接口形式 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口
        應用方向 芯片及LD/LED/PD測試,PCB/封裝器件測試,射頻測試等。
        可選附件  顯微鏡傾仰裝置(傾仰30度) 高低溫樣品臺 光強/波長測試選件
        顯微鏡氣動升降裝置 屏蔽箱 射頻測試附件
        激光微加工 轉接頭 有源探頭
        探針卡夾具 防震臺 低電流/電容測試
        顯微鏡暗場/DIC/Normarski 檢測光強/波長測試接口部件 鍍金卡盤 兼容積分球測試選件
        液晶漏電分析套裝 同軸叁軸卡盤 光纖夾具耦合測試選件
        高壓/大電流測試套件 樣品臺快速升降,微調升降裝置選件 PCB/封裝夾具測試選件
        加熱臺 樣品臺旋轉微調選件 特殊定制
        特點 1.顯微鏡龍門柱式設計,可使顯微鏡在平面內移動。
        2.顯微鏡可傾仰或氣動升降,便于更換物鏡。
        3.可升級做射頻,大電流方面的測試和激光修復應用。
        4.同軸驅動卡盤,移動精度高。
         
        特點
        緊湊的結構 同軸絲杠傳動結構,線性移動
        實惠的價格 無回程差設計
        兼容高倍率金相顯微鏡,可微調移動 1微米以上電極/PAD測試
        高等院校/研究所/公司實驗室使用 LD/LED/PD的光強/波長測試
        可用于12英寸以內樣品測試 材料/器件的IV/CV特性測試

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